تنظیم صحیح دما در کارخانه هوشمند شما
اگر در حال ساخت یک کارخانه هوشمند برای صنعت ۴.۰ هستید، احتمالاً متوجه شده‌اید که روش‌های قدیمی گرم کردن اشیاء دیگر کافی نیستند. شما به داده‌های دقیقی نیاز دارید. به همین دلیل، اکثر ما از سیستم‌های مادون قرمز برای گرم کردن استفاده می‌کنیم. این سیستم‌ها تمیز هستند، به ویفر آسیبی نمی‌رسانند، و دقت بسیار بالایی دارند. اما مشکل اینجاست: فاصله بین منبع تابش مادون قرمز و ویفر. اگر این فاصله را درست تنظیم نکنید، مشکلاتی پیش خواهد آمد.
تعادل در تنظیمات
فاصله ایمنی را می‌توان مانند راه رفتن روی طناب باریک در نظر گرفت. اگر لامپ خیلی نزدیک باشد، نقاط داغی ایجاد می‌شود؛ این نقاط می‌توانند ویفر را در عرض چند ثانیه تخریب کنند، و این کار باعث هدر رفتن پول زیادی خواهد شد. اگر لامپ خیلی دور باشد، فقط هوای موجود در اتاق گرم خواهد شد؛ در این صورت، منابع تغذیه‌ای باید بیشتر کار کنند تا این کمبود را جبران کنند، که این امر برای هزینه‌های انرژی و عمر سخت‌افزارها خوب نیست. همه چیز به چگالی تابش بستگی دارد. تابش مادون قرمز موج کوتاه بسیار خوب است، زیرا می‌تواند به عمق مواد نفوذ کند؛ اما این روش نیاز به دقت زیادی در تنظیم فاصله دارد تا سطح ۳۰۰ میلی‌متری ویفر به طور یکنواخت گرم شود.
دست کشیدن از روش «تنظیم و فراموش کردن»
در خطوط تولید مدرن، ما فقط کلید را فعال نمی‌کنیم و امیدواریم که همه چیز خوب پیش برود. ما از سیستم‌های بازخورد بسته استفاده می‌کنیم. با استفاده از پیرانومترهای پرسرعت، سیستم می‌تواند دما را تشخیص دهد و میزان توان لامپ را به طور لحظه‌ای تنظیم کند. این کار مانند داشتن چشم‌هایی روی هر ویفر است؛ در نتیجه، شما نقشه دیجیتالی از کل فرآیند حرارتی در اختیار خواهید داشت و می‌توانید دقیقاً بدانید چه اتفاقی برای هر ویفر رخ داده است.
معایب (چون همیشه مشکلاتی وجود دارد)
سیستم‌های تابش مادون قرمز با چگالی بالا، سریع عمل می‌کنند؛ این موضوع برای افزایش سرعت تولید خوب است. اما تمام این گرما باید جایی منتقل شود. اگر میزان توان لامپ را بالا ببرید تا زمان تولید کمتر شود، بدنه دستگاه تحت فشار قرار خواهد گرفت؛ لوله‌های خنک‌کننده نیز باید به اندازه کافی قوی باشند تا انرژی اضافی را مدیریت کنند. اگر از سیستم‌های خنک‌کننده کافی استفاده نکنید، لامپ‌ها زودتر خراب خواهند شد یا حسگرها دچار اختلال خواهند شد. این مشکلاتی هستند که نمی‌خواهید با آن‌ها روبرو شوید. توصیه من این است که هنگام تنظیمات، کمی محتاط باشید؛ بهتر است کمی فاصله بیشتری را در نظر بگیرید، تا اینکه از همان روز اول، ویفرها خراب شوند.