متوقف کردن گرم کردن هوا: روش هوشمندانهتری برای اداره اتاقهای پاک
اگر واقعاً میخواهیم به اهداف بینوسانی کربنی در کارخانههای تولید تراشه دست یابیم، باید دیگر به فرآیندهای گرمایشی قدیمی تکیه نکنیم. فکر کنید: این روشها باعث میشوند کل اتاق، یعنی هوا، دیوارها و همه چیز، گرم شود؛ تنها برای رساندن دمای مناسب به ویفر. این کار، هدررفت بسیار زیادی از انرژی است.
در اینجاست که روش گرمایش با استفاده از امواج مادون قرمز مطرح میشود. به جای گرم کردن کل اتاق، از امواج مادون قرمز برای انتقال انرژی مستقیم به ویفر استفاده میشود. این روش، سبکتر و کارآمدتر است؛ همچنین از هدررفت انرژی جلوگیری میکند.
نحوه کارکرد آن
لامپهای مادون قرمز، حرارت را دقیقاً در جای مناسب تمرکز میکنند. شما میتوانید از فنهای بزرگ برای گردش هوا و عناصر گرمایشی حجیم که انرژی زیادی مصرف میکنند، صرفنظر کنید.
نکته جالب این است که میتوانیم طول موج لامپها را تنظیم کنیم تا میزان حرارت تولید شده را کنترل کنیم. شما دیگر نیازی ندارید که بدنه دستگاه را گرم کنید تا به دمای مورد نظر برسد. همچنین، این روش باعث میشود که فرآیند تولید سریعتر انجام شود.
مشکلات موجود
البته، نمیتوانید فقط چند لامپ گرمایشی را در اتاق پاک قرار دهید و کار تمام شود. آلودگی ناشی از ذرات، مشکل بزرگی است؛ بنابراین از غلافهای کوارتزی و پوششهای خاصی استفاده میکنیم تا مطمئن شویم که هیچ چیز در حین گرم شدن دستگاه، خارج نشود.
همچنین، باید به سیستم خنککننده دستگاه توجه کنید. لامپهای مادون قرمز، انرژی زیادی تولید میکنند؛ اگر سیستم خنککننده دستگاه به اندازه کافی قوی نباشد، بدنه دستگاه گرم خواهد شد و این موضوع میتواند بر فرآیند تولید تأثیر منفی بگذارد.
پیامدهای این روش برای کارخانه
در نهایت، میزان انرژی مصرفی برای هر ویفر کاهش مییابد. همچنین، تجهیزات کمتری نیاز است؛ زیرا دیگر نیازی به استفاده از فرهای بزرگ و عایقبندی شده نیست. برای مهندسان، این روش یک راهحل عالی است؛ زیرا میتوانند به اهداف «کارخانه سبز» دست یابند، بدون اینکه سرعت تولید کاهش یابد. همچنین، چرخههای تولید سریعتر خواهد بود و میزان انرژی مصرفی کاهش خواهد یافت.