در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتیگراد در طول فرآیند گرم کردن فیلم حساس به نور، میتواند باعث شود ابعاد مهم قطعات از استانداردهای مشخص شده خارج شوند و در نتیجه مقدار زیادی از قطعات از کار بروند. لامپهای گرمکن TEL بر این اصل ساخته شدهاند که دما صرفاً یک عدد روی صفحه نمایش نیست؛ بلکه متغیری است که بر کیفیت قطعات تأثیر میگذارد.
چه چیزی واقعاً اهمیت دارد؟
ما از لامپهای مادون قرمز با کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم تا بتوانند با جذب نور توسط کوارتز هماهنگ شوند و به طور مداوم روی ویفر تأثیر بگذارند. یکنواختی دما در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، سازگاری با محیطهای پاکسازی در سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰، به لطف استفاده از موادی با تولید گاز کم و عدم تولید ذرات، محقق میشود. این سیستم به طور ۲۴/۷ کار میکند و زمانهای تعمیرات پیشبینیشدهای دارد؛ بنابراین توقف ناخواسته فرآیند تولید رخ نخواهد داد.
دلیل موفقیت این روش در تولید این است که فرآیندهای گرم کردن، دیگر وابسته به عملکرد اپراتور نیستند و به روشهای قابل پیشبینی تبدیل میشوند. در نتیجه، جریان فیلم حساس به نور یکنواخت خواهد بود، نقصها کاهش خواهد یافت و بازدهی تولید بهتر خواهد بود؛ در عین حال، مصرف انرژی نیز به دلیل اتصال کارآمد لامپ به ویفر، کنترل شده است. نتیجه این کار، قابلیت تکرار پذیری است؛ یعنی همان الگوی حرارتی، در هر بار تولید، و در تمام دستگاهها، حاصل خواهد شد.
چند نکته عملی: نصب لامپها نیازمند هماهنگ کردن ساختار لامپ و رابطات اتصالی آن با دستگاه مربوطه است؛ ما از مجموعههای آماده برای پلتفرمهای TEL استفاده میکنیم. همچنین، باید مراقب نحوه جابجایی ویفر باشیم و نقاط تنظیم حرارتی را با ویژگیهای فیلم حساس به نور بررسی کنیم. حتی کوچکترین تفاوت در قدرت تابش یا ساختار ویفر، میتواند منجر به تغییرات در الگوی حرارتی شود.