http://ir-qz-heating.com/fa/tags/%D8%A7%D9%84%DA%A9%D8%AA%D8%B1%D9%88%D9%86/ Recent content in الکترون) on Infrared Quartz Heating Systems Hugo fa Thu, 18 Jun 2026 04:07:52 +0800 http://ir-qz-heating.com/fa/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:07:52 +0800 http://ir-qz-heating.com/fa/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="لامپ گرمکن TEL (توکیو الکترون)"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۰.۵ درجه سانتی‌گراد در طول فرآیند گرم کردن فیلم حساس به نور، می‌تواند باعث شود ابعاد مهم قطعات از استانداردهای مشخص شده خارج شوند و در نتیجه مقدار زیادی از قطعات از کار بروند. لامپ‌های گرم‌کن TEL بر این اصل ساخته شده‌اند که دما صرفاً یک عدد روی صفحه نمایش نیست؛ بلکه متغیری است که بر کیفیت قطعات تأثیر می‌گذارد.</p> <p><strong>چه چیزی واقعاً اهمیت دارد؟</strong><br> ما از لامپ‌های مادون قرمز با کنترل طیفی دقیق استفاده می‌کنیم تا بتوانند با جذب نور توسط کوارتز هماهنگ شوند و به طور مداوم روی ویفر تأثیر بگذارند. یکنواختی دما در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ همچنین، سازگاری با محیط‌های پاکسازی در سطح کلاس ۱ تا ۱۰۰، به لطف استفاده از موادی با تولید گاز کم و عدم تولید ذرات، محقق می‌شود. این سیستم به طور ۲۴/۷ کار می‌کند و زمان‌های تعمیرات پیش‌بینی‌شده‌ای دارد؛ بنابراین توقف ناخواسته فرآیند تولید رخ نخواهد داد.</p>