http://ir-qz-heating.com/fa/tags/%D9%84%D9%85/ Recent content in لم on Infrared Quartz Heating Systems Hugo fa Fri, 19 Jun 2026 05:49:00 +0800 http://ir-qz-heating.com/fa/posts/lam-research-heater-replacement/ Fri, 19 Jun 2026 05:49:00 +0800 http://ir-qz-heating.com/fa/posts/lam-research-heater-replacement/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="تعویض هیتر لم ریسرچ"></p> <p>در کارخانه‌های تولید، انحراف در دمای فر، صرفاً مشکلی مربوط به نگهداری تجهیزات نیست؛ بلکه باعث اختلال در فرآیندهای مختلفی مانند پختن و خشک کردن ویفرها می‌شود. برای حفظ یکپارچگی پروفایل‌های تابشی و جلوگیری از نقص‌های ناشی از خشک شدن ویفرها، لازم است که دمای فر در محدوده بسیار مشخصی باقی بماند. هرچه تجهیزات قدیمی‌تر شوند، این محدوده دمایی کوچکتر می‌شود و در نتیجه بازدهی تولید نیز کاهش می‌یابد.</p> <p>آنچه در این فرآیند اهمیت دارد این است که ما تجهیزات جایگزینی را طوری طراحی می‌کنیم که بتواند در اتصالات حرارتی و مکانیکی تجهیزات اصلی جایگیری کند؛ همچنین، یکنواختی دمایی در سطح ویفرها باید در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باشد و این تجهیزات باید با شرایط اتاق‌های پاکسازی از کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار باشند. پروفایل‌های تابش در فرکانس‌های کوتاه یا متوسط نیز باید متناسب با نیازهای تجهیزات اصلی تنظیم شوند. استفاده از قطعات کوارتزی و سرامیکی با اتصالات دربسته، باعث جلوگیری از تولید ذرات می‌شود. میزان توان و ولتاژ نیز باید متناسب با تجهیزات اصلی باشد؛ همچنین، نوع کانکتورها، محدودیت‌های نصب و پاسخ حرارتی نیز باید متناسب با تجهیزات اصلی باشد.</p>