http://ir-qz-heating.com/fa/tags/%DA%AF%D9%88%D8%A7%D9%87%DB%8C-%DA%A9%D8%AA%D8%A8%DB%8C-%D8%A8%DB%8C%D8%A7%D9%86-%D8%B4%D8%A7%D9%87%D8%AF/ Recent content in گواهی کتبی (بیان شاهد) on Infrared Quartz Heating Systems Hugo fa Thu, 04 Jun 2026 03:25:34 +0800 http://ir-qz-heating.com/fa/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:25:34 +0800 http://ir-qz-heating.com/fa/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="گرمکننده رسوب بخار شیمیایی (CVD)"></p> <p>در سالن تولید، گره ۵nm هیچ فضایی برای انحراف دما به شما نمی‌دهد. یک نقطه داغ در اتاق CVD باعث می‌شود با عدم یکنواختی ضخامت، انحراف استوکیومتری و ویفرهایی که حتی قبل از خروج از دستگاه دور ریخته می‌شوند مواجه شوید. آن هیتر باید دقیقاً در جایی قرار بگیرد که دستورالعمل مشخص کرده است، در هر بار اجرا.</p> <p><strong>آنچه از نظر فنی اهمیت دارد</strong><br> هیتر CVD را حول عناصر مادون قرمز موج کوتاه می‌سازیم که یک میدان حرارتی کنترل‌شده روی سوسپتور ایجاد می‌کنند—با تمرکز دقیق و زیر میلی‌متری. یکنواختی در سطح ویفر در محدوده ±0.1°C به دست می‌آید و تکرارپذیری نقطه تنظیم در طول دسته‌ها و شیفت‌ها حفظ می‌شود. پاسخ‌دهی آن به اندازه کافی سریع است تا مراحل دستورالعمل را بدون پیش‌انداختگی دنبال کند، بنابراین تنش فیلم یا انتخاب‌پذیری لایه را خراب نمی‌کند.</p>