Sur le plan de fabrication, un décalage dans les températures de chauffage n’est pas simplement un problème de maintenance. Cela peut entraîner des interruptions dans le processus de fabrication, en affectant à la fois les étapes de cuisson douce, de cuisson forte et de séchage des wafers. Il est donc essentiel de maintenir des profils de température stables et sans défauts de séchage. Pour y parvenir, il faut une grande répétabilité thermique, dans une marge très restreinte. Lorsque l’équipement d’origine vieillit, cette marge se réduit – ce qui a pour conséquence une diminution du rendement de production.
Voici ce qui est vraiment important : nous concevons des pièces de remplacement adaptées aux interfaces thermiques et mécaniques des équipements Lam Research, avec une uniformité des températures au niveau des wafers de ±0,1 °C. De plus, ces pièces sont compatibles avec des salles propres de classe 1 à 100. Les profils infrarouges de courte ou moyenne longueur d’onde sont ajustés pour correspondre aux besoins thermiques du photorésistant. Aucune particule n’est générée, grâce à l’utilisation de composants en quartz et en céramique dotés de joints hermétiques. La puissance et la tension électrique correspondent à celles de l’équipement d’origine. Le type de connecteur, les tolérances de montage et la réponse thermique sont également adaptés aux spécifications de l’équipement initial.
Pourquoi cela fonctionne bien en pratique ? On conserve le même temps de cycle, les mêmes profils de cuisson et les mêmes performances de lithographie. Il n’est donc pas nécessaire de revalider l’ensemble du module. La consommation d’énergie reste dans les limites prévues initialement. La fiabilité 24/7 est assurée par un contrôle précis de la température, afin que celle-ci reste constante à chaque cycle de fabrication. Les avantages sont : moins d’interventions imprévues et un contrôle fiable des dimensions critiques au sein de toute la production.
Quelques réalités sur le terrain : l’installation consiste à adapter le connecteur de la chambre et à vérifier la position du thermocouple. Une mauvaise orientation peut entraîner des décalages dans les profils de température. Il est donc nécessaire de effectuer un test de validation après le remplacement, ainsi que de vérifier le nombre de particules présentes dans les gaz d’échappement. Nous fournissons des pièces de remplacement testées et équivalentes, ce qui permet de les installer sans avoir à redessiner le processus ou l’équipement.