Fabrication de boîtiers de chauffage en acier inoxydable

Tue, 02 Jun 2026 08:47:21 +0800

Sur le plancher de fabrication, la cuisson du photoresist n’est pas optionnelle — c’est une contrainte stricte. Une dérive de 2°C lors du soft bake ou du hard bake perturbe le contrôle des dimensions critiques et réduit le rendement. Le boîtier du chauffage doit transformer l’intention thermique en performance réelle sur le terrain, sans augmenter le risque de particules ni entraîner une inertie thermique excessive.

Ce qui compte vraiment sous le capot

Nous construisons le boîtier chauffant en acier inoxydable autour d’éléments infrarouges à ondes courtes qui assurent une distribution thermique uniforme au sous-millimètre, répétable lot après lot. Le champ thermique suit le point de consigne avec une marge étroite, garantissant que vos profils de cuisson du photoresist restent conformes aux spécifications.
Le boîtier est compatible avec les salles blanches, avec des soudures et des surfaces lisses qui limitent la génération de particules. En pratique, cela se traduit par moins d’écarts en lithographie et une uniformité dimensionnelle critique plus stable sur l’ensemble de la plaquette.

Inoxydable on Infrared Quartz Heating Systems

Fabrication de boîtiers de chauffage en acier inoxydable

Ce qui compte vraiment sous le capot