חסכו אנרגיה בתהליך עיבוד הוואפרים שלכם
הבעיה עם סביבות ואקום היא שאין שם תהליך של העברת חום באמצעות תרמוקונווקציה. כלומר, עליכם להסתמך על קרינה כדי להעביר את החום. אם האנרגיה הזו לא מגיעה לוואפר, היא פשוט נעלמת. זו אנרגיה שאינה מנוצלת, והמכונות לקירור צריכות לעבוד קשה כדי להיפטר ממנה.
לכן אנו משתמשים במחזירי אור מצופים בזהב. זה פשוט הגיוני.
למה זהב?
מחזירי אור רגילים מאלומיניום יכולים לעבוד זמן מה, אך הם נהרסים תחת חום גבוה ובתנאי ואקום קבועים. זהב שונה – הוא מסוגל להחזיר חלק גדול יותר מהפוטונים באור האינפרא-אדום חזרה אל הוואפר.
זה לא קשור ל”יותר חום”, אלא לשליטה בחום. במקום פשוט להגדיל את עוצמת החום, אפשר להפנות את האנרגיה בדיוק למקום שבו היא נחוצה. התוצאה? פרופיל טמפרטורה אחיד על פני הוואפר.
החלק הקשה
ההתקנה של מחזירי האור האלה במקום צפוף אינה תמיד קלה. שכבת הזהב דקה מאוד, והיא גם רגישה. אם טכנאי פוגע בשכבה הזו בטעות, נוצר נקודת קור על הוואפר. זו טעות קטנה שגורמת לבעיות גדולות.
יש גם את בעיית איזון צפיפות האנרגיה. מכיוון שהזהב מחזיר הרבה אנרגיה חזרה, הנורה עצמה נהיית חמה יותר. אי אפשר פשוט להתקין אותם ולשכוח מהם; צריך לוודא שמערכות הקירור יכולות להתמודד עם העומס הנוסף. אם מערכות הקירור לא חזקות מספיק, הן יגרמו להרס הפילמנטים במהירות.
היתרונות
היתרונות שווים את המאמץ. ניתן להגיע לטמפרטורות הרצויות מהר יותר, מה שמקצר את זמן העיבוד. בנוסף, מכיוון שהאנרגיה מרוכזת, ניתן להפחית את צריכת האנרגיה הכוללת ועדיין לשמור על הוואפר בטמפרטורה הנכונה. זו דרך פשוטה לעבד יותר ואפרים בתוך התא, בלי להצטרך להוסיף עוד מחממים.