http://ir-qz-heating.com/he/tags/%D7%90%D7%9C%D7%A7%D7%98%D7%A8%D7%95%D7%9F/ Recent content in אלקטרון) on Infrared Quartz Heating Systems Hugo he Thu, 18 Jun 2026 04:07:52 +0800 http://ir-qz-heating.com/he/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:07:52 +0800 http://ir-qz-heating.com/he/posts/tel-tokyo-electron-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="TEL (Tokyo Electron) – נורת חימום"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5°C בטמפרטורה במהלך תהליך החימום של החומר הפוטורזיסטי עלול לגרום לכך שהממדים הקריטיים של השבב יצאו מהטווח המותר, וכתוצאה מכך ייהרסו כמויות גדולות של שבבים. נורות החימום של TEL מעוצבות כך שהן יתאימו למציאות – טמפרטורה אינה רק ערך שמוצג על המסך; היא קובעת את התנאים התרמיים הנדרשים לתהליך הייצור.</p> <p><strong>מה באמת חשוב בפועל?</strong> אנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום בעלות שליטה ספקטרלית גבוהה, כך שהן יתאימו לתכונות הספיגה של הקוורץ ויחממו את השבב במהירות, שוב ושוב. האחידות בטמפרטורה על פני שטח השבב היא ±0.1°C. התאמה לתנאי חדר נקי מסוג Class 1–100 מושגת באמצעות שימוש בחומרים שאינם פולטים גזים ושאינם יוצרים חלקיקים. המערכת פועלת 24/7, עם זמני תחזוקה צפויים, כך שאין עצירות בלתי צפויות בתהליך הייצור.</p>