מחמם CVD (התקדמות אדים כימית)

על רצפת המפעל, צומת 5nm לא משאירה לך מרחב לסטייה בטמפרטורה. נקודת חום אחת בתא CVD ואתה מתמודד עם אי-אחידות בעובי, סטייה בסטויכיומטריה וווייפרים...