טמפרטורת אפייה נמוכה של הפוטורזיסט באינפרא אדום

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט אינו דבר שניתן להמעיט בחשיבותו. שינוי זה גורם לשינויים ברוחב הקווים, להישארות של...