http://ir-qz-heating.com/he/tags/%D7%A4%D7%95%D7%98%D7%95%D7%A8%D7%96%D7%99%D7%A1%D7%98/ Recent content in פוטורזיסט on Infrared Quartz Heating Systems Hugo he Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/he/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/he/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="טמפרטורת אפייה נמוכה של הפוטורזיסט באינפרא אדום"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט אינו דבר שניתן להמעיט בחשיבותו. שינוי זה גורם לשינויים ברוחב הקווים, להישארות של חומרים מסיסים על פני השטח, ולירידה באיכות המוצר – דברים שאף בדיקה לא יכולה להסביר. פיתחנו את מודולי החימום באמצעות אינפראאדום כדי להיפטר מחוסר הוודאות הזה; שכן ייבוש הוופרים ועיבוד הפוטורזיסט דורשים טמפרטורות קבועות, ולא הערכות שרירותיות.</p> <p><strong>מה חשוב בפועל?</strong> אנו מתאימים את גלי האינפראאדום הקצרים לטווח הספיגה של החומרים המסיסים של הפוטורזיסט, כך שהאנרגיה נכנסת ישירות לשכבה, מבלי לחמם יתר על המידה את הוופר. התוצאה היא חימום מהיר ואחיד, עם רמת וריאציה של ±0.1°C על פני כל שטח החימום. הבקרה נעשית באמצעות חיישנים מדויקים, וניתן לקבוע את הפרמטרים הנדרשים לכל תהליך – חימום רגיל, חימום אינטנסיבי, או חימום לאחר השימוש בפוטורזיסט – ללא צורך בהתערבות אדם. המערכת פועלת בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והיא מעוצבת כך שלא ייווצרו חלקיקים זרים, וכך יימנעו פגמים בוופרים.</p>