फोटोरेजिस्ट के नरम बेक होने हेतु आवश्यक तापमान – आईआर

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को नरम करने की प्रक्रिया में आधे डिग्री का भी अंतर महत्वपूर्ण है। इसके कारण लाइनों की चौड़ाई में बदलाव, घोलों...