http://ir-qz-heating.com/id/tags/oven/ Recent content in Oven on Infrared Quartz Heating Systems Hugo id Wed, 01 Jul 2026 12:30:51 +0800 http://ir-qz-heating.com/id/posts/quartz-heater-tube-for-fab-oven/ Wed, 01 Jul 2026 12:30:51 +0800 http://ir-qz-heating.com/id/posts/quartz-heater-tube-for-fab-oven/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Tabung pemanas kuarsa untuk oven fabrikasi"></p> <p>Di fasilitas <a href="https://henruite.com">produksi</a>, proses pemanasan photoresist bukanlah sekadar langkah pemanasan awal saja. Proses ini merupakan bagian penting dalam siklus produksi tersebut.</p> <p>Jika suhu pemanasan dinaikkan sebesar 1°C saja, maka akan terjadi perubahan pada profil CD, sudut dinding samping, dan peningkatan tingkat kecacatan pada produk yang dihasilkan. Tabung pemanas berbahan kuarsa harus mampu menghasilkan panas yang konsisten—tanpa adanya partikel yang dihasilkan, dan tanpa adanya perubahan suhu yang signifikan.</p> <p><strong>Apa yang penting dalam desain tabung pemanas ini?</strong> Kami merancang tabung pemanas ini agar dapat memberikan panas yang konsisten untuk wafer tipis, serta memastikan stabilitas yang tinggi selama proses litografi. Di area yang aktif, keseragaman suhu tetap dipertahankan pada kisaran ±0,1°C, sehingga titik ekspansi suhu tetap stabil meski beban kerja berubah-ubah. Gelombang inframerah menawarkan respons yang cepat, sehingga waktu pemanasan berkurang, dan waktu siklus produksi tetap terjaga.</p>