MEMSウェーハを壊さずに乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、まるで細い綱の上を歩くような難しい作業です。水分を完全に取り除くためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えると、その繊細な微細構造が破壊されてしまいます。 そのため、私たちは金コーティングされた反射器を使用しま...

なぜ、CNT製造において赤外線加熱を採用したのか もし、半導体工場で従来の抵抗式オーブンを使ったことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。実際に加工を始める前に、オーブンの壁が十分に温まるのを1時間も待たなければなりません。本当に面倒な作業です。正直、そのエネルギーの大部分は、無駄に巨大な金属...

ラボが不安定な状態になったときに、安全を守る方法 正直に言って、可燃性の溶剤が入ったグローブボックスを加熱するのは非常に危険な行為です。単に熱を扱うだけでなく、もし火花が適切でない場所に飛び散ったり、加熱要素が壊れたりした場合、それはまるで爆弾のようになってしまいます。通常のIRランプでは十分では...

なぜセラミック製のエンドキャップがIRエミッターにとって重要なのか 半導体の硬化処理を行う際、環境に優しく、鉛を含まない材料を使うことが求められます。そのため、私たちの多くは赤外線（IR）エミッターを使用しています。溶剤を使った乾燥法とは異なり、直接放射熱を利用するため、よりクリーンで高速、そして...

なぜ、すべてのランプをテストするのか？（そして、なぜそれが重要なのか） 高電圧耐性試験や絶縁抵抗試験に合格しない限り、私たちはどんなランプも出荷しません。これは絶対です。 製造工程において、絶縁体が壊れると大変なことになります。単に電球が壊れるだけではありません。製造ライン全体が停止してしまったり...

化学処理を行う場所での赤外線ヒーターの使用について心配する必要はありません。 正直言って、可燃性溶剤がある部屋に赤外線ヒーターを設置するのは非常に危険な行為です。ちょっとした火花や、不適切な場所にある発熱体が原因で、大惨事につながりかねません。これは巨大なリスクです。 私たちは、発熱体を安全な場所...

ウェーハ処理における熱の無駄遣いをやめましょう。 真空環境の問題点は、対流が全く行われないことです。つまり、熱を移動させるためには放射を利用するしかありません。もしそのエネルギーがウェーハに当たらなければ、それは単に無駄になってしまいます。その分のエネルギーを取り除くために、冷却装置が余計な労力を...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングの反射板が重要なのか シリコンウェーハを加熱する際、1ワットたりとも無駄になると、それは単にお金が無駄に消えてしまうことを意味します。多くの人々は従来のアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、これらの反射板が余計なエネルギーを吸収して散乱してしまう...

粉塵を防ぐ：クラス100の環境で完全な無汚染状態を実現する方法 クラス100の環境を維持している人なら、その苦労はよくわかるでしょう。わずかな金属片や微粒子があるだけで、作業してきたもの全てが無駄になってしまいます。こうした問題の原因となるのは、一般的な抵抗式ヒーターです。高温になると、金属酸化物...

なぜセラミック製のエンドキャップが、IRエミッターにとって重要な役割を果たすのか 赤外線エミッターは、極めて高温の環境で動作します。正常に動作させるためには、発熱素子と外側のケースの間にしっかりとした遮断層が必要です。それがセラミック製のエンドキャップの役割です。 まるでボディーガードのようなもの...

化学洗浄エリアでのIRランプの安全な扱い方 正直に言って、赤外線ランプを化学洗浄エリアに置くのは、まるでトースターをシャワールームに持ち込むようなものです。液体が漏れ込んだり、可燃性の蒸気が火花を待っていたりと、大きな問題があります。これは最悪の事態を招く原因となります。 そのため、私たちは防水機...

スマートファブで適切な加熱を実現するには インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する場合、従来の加熱方法ではもはや不十分だということがお分かりでしょう。データが必要なのです。そのため、私たちの多くは赤外線システムを利用しています。これらのシステムはクリーンで、ウェーハに直接触れることもなく...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100（ISO 5）の環境で作業を行う場合、「ほぼ清潔」という状態では不十分です。わずかな塗料の破片や化学物質が空気中に漏れ出すだけで、大量のウェーハがダメになってしまいます。 問題は、ほとんどの赤外線ランプには、加熱されると剥がれ...

工具が過熱するのを防ぎましょう。 標準的な赤外線ランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。半導体製造装置のような狭い空間では、これは大きな問題となります。装置の内壁はまるでスポンジのように機能し、余分なエネルギーを吸収してしまいます。その結果、装置の筐体が高温になり、電子部品が損傷す...

なぜ水素センサーの製造において、熱風を赤外線に置き換えるのか？ 水素センサーを作る際に最も重要なのは、ちょうど良い温度を実現することです。 長年にわたり、ほとんどの場合、熱風を使って加熱してきました。これは昔ながらの半導体製造手法です。しかし正直、これは非効率的です。 どのように機能するか考えてみ...

ウェーハ加工用のツールが爆発しないようにする方法 正直言って、赤外線加熱ランプと可燃性の洗浄剤を一緒に使うのは、災害を招く行為です。これらの化学物質を扱ったことがある人なら、どれほど危険かわかるでしょう。ちょっとした火花や過熱した表面だけで、製品が台無しになるだけでなく、爆発の危険もあります。 だ...

ヒーターランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。 高負荷のファブでは、ランプの故障は単なる「技術的なトラブル」や一時的な停止に過ぎません。それは本当に悪夢のような状況です。 UHPヒーターランプが壊れると、単に動かなくなるだけでなく、石英の破片やハロゲンガスがウェーハの表面に飛び散ります。一度...

方向性のある赤外線加熱を使って、CNTの製造を正しく行う方法 もし、これまでにカーボンナノチューブを扱ったことがあるなら、温度制御がいかに重要かはご存知でしょう。これは非常に難しいプロセスです。私たちが見出した最善の方法は、短波長の赤外線ランプを使用することです。このランプは、周囲全体を温めるので...

化学薬品が爆発しそうになったときに、どうやって安全を保つか 正直言って、半導体の湿式洗浄というのは非常に危険な作業です。可燃性の蒸気や爆発性の化学物質を扱うわけですから、そのような環境では、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険因子となります。ちょっとしたスパークや絶縁体の劣化だけで、...

半成晶工程における炭素排出の削減：なぜ真空赤外線が有効なのか 正直に言えば、従来の抵抗加熱式の炉はエネルギーを大量に消費します。ウェーハを適切な温度にするために、チャンバ全体、つまり壁までも加熱する必要があります。これは、コーヒーを温めるために家全体を暖めるようなものです。これは無駄なことであり...

暖めるのに時間を無駄にするのはやめましょう：なぜバイオセンサー製造においてIRランプが優れているのか もし、製造ラインで作業したことがあるなら、部品が加熱されるのを待つという苦労を知っているはずです。長い間、私たちは熱風循環方式に頼ってきました。しかし正直なところ、それは非常に遅く、非効率的です。...

なぜ金コーティングがIRエネルギーの利用において重要なのか スマートセンサーのパッケージや半導体ウェーハを扱う際、重要なのはただ一つです。それは、IRエネルギーをすべてそのウェーハに届けることです。高価なエネルギーが無駄に機械の内部に漏れてしまっては困ります。 そこで役立つのが金コーティングされた...

なぜ、私たちは赤外線ランプの「見えない側」にこだわるのか？ 赤外線加熱管を製造する際、適切な温度を実現することは半分の仕事に過ぎません。もう半分というのは、ランプが短絡したり、不要な電流が機械のフレーム内に漏れ込まないようにすることです。 だからこそ、私たちは「ランダムサンプル検査」を行いません。...

無鉛半導体のための適切な赤外線硬化処理の方法 世界的なクリーンルーム基準を満たすためには、赤外線による硬化処理が最適な手段です。これはクリーンであり、無鉛であり、環境にも優しい方法です。 対流式オーブンを例に考えてみましょう。部品を加熱するために、部屋中の空気を温める必要があります。これは無駄なエ...

なぜバイオセンサー製造において、オーブンの代わりに赤外線ランプを使うのか？ バイオセンサーを製造する際、熱による硬化処理や基板を完全に乾燥させることに多くの時間を費やします。長年にわたり、一般的には通常のオーブンが使用されてきました。しかし問題点は、小さな素材を温めるために大きな空間全体を加熱する...