金コーティング反射技術による半導体ヒーターの熱フラックス最大化
無駄なエネルギーの浪費をやめましょう 半導体の加熱において、無駄になる1ワットものエネルギーは、まさに設計上の欠陥です。シリコンウェーハを加熱するとき、単に「多くの熱」が必要なわけではありません。光子が正確に目的の場所に当たることが重要です。 そのため、私たちは金をコーティングした反射材を使用しま...
精密赤外線加熱によるバイオセンサー製造における炭素足跡の低減
バイオセンサーを加熱するためのより良い方法 バイオセンサーを作る際には、細部が重要です。特に、硬化や乾燥の処理方法が重要です。長年にわたり、私たちはすべての工程をクリーンルーム内の大きな対流オーブンで行ってきました。しかし正直に言って、小さな基板上を温めるために巨大な空気の流れを利用するのは、エネ...
金コーティングされた反射型赤外線技術によるMEMSウェーハの乾燥最適化
MEMSウェーハを壊さずに乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、まるで細い綱の上を歩くような難しい作業です。水分を完全に取り除くためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えると、その繊細な微細構造が破壊されてしまいます。 そのため、私たちは金コーティングされた反射器を使用しま...
赤外線加熱システムを活用したCNT製造におけるカーボンフットプリントの削減
なぜ、CNT製造において赤外線加熱を採用したのか もし、半導体工場で従来の抵抗式オーブンを使ったことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。実際に加工を始める前に、オーブンの壁が十分に温まるのを1時間も待たなければなりません。本当に面倒な作業です。正直、そのエネルギーの大部分は、無駄に巨大な金属...
可燃性化学物質が存在するグローブボックス環境向けの 安全な赤外線加熱システムの開発
ラボが不安定な状態になったときに、安全を守る方法 正直に言って、可燃性の溶剤が入ったグローブボックスを加熱するのは非常に危険な行為です。単に熱を扱うだけでなく、もし火花が適切でない場所に飛び散ったり、加熱要素が壊れたりした場合、それはまるで爆弾のようになってしまいます。通常のIRランプでは十分では...
無鉛半導体IR硬化システムにおけるセラミックエンドキャップの技術的役割
なぜセラミック製のエンドキャップがIRエミッターにとって重要なのか 半導体の硬化処理を行う際、環境に優しく、鉛を含まない材料を使うことが求められます。そのため、私たちの多くは赤外線（IR）エミッターを使用しています。溶剤を使った乾燥法とは異なり、直接放射熱を利用するため、よりクリーンで高速、そして...
100回の誘電体試験を通じてファブ乾燥ランプの電気的整合性を確保する
なぜ、すべてのランプをテストするのか？（そして、なぜそれが重要なのか） 高電圧耐性試験や絶縁抵抗試験に合格しない限り、私たちはどんなランプも出荷しません。これは絶対です。 製造工程において、絶縁体が壊れると大変なことになります。単に電球が壊れるだけではありません。製造ライン全体が停止してしまったり...
爆発性化学物質を使用する清掃環境用の赤外線加熱システムの開発
化学処理を行う場所での赤外線ヒーターの使用について心配する必要はありません。 正直言って、可燃性溶剤がある部屋に赤外線ヒーターを設置するのは非常に危険な行為です。ちょっとした火花や、不適切な場所にある発熱体が原因で、大惨事につながりかねません。これは巨大なリスクです。 私たちは、発熱体を安全な場所...
ゴールドコーティングされた反射板を用いて真空IRヒーターの放射フラックスを最大限にする
ウェーハ処理における熱の無駄遣いをやめましょう。 真空環境の問題点は、対流が全く行われないことです。つまり、熱を移動させるためには放射を利用するしかありません。もしそのエネルギーがウェーハに当たらなければ、それは単に無駄になってしまいます。その分のエネルギーを取り除くために、冷却装置が余計な労力を...
金コーティングされた赤外線反射器を用いたウエハ処理における放射束の最大化
熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングの反射板が重要なのか シリコンウェーハを加熱する際、1ワットたりとも無駄になると、それは単にお金が無駄に消えてしまうことを意味します。多くの人々は従来のアルミニウム製の反射板を使っていますが、問題は、これらの反射板が余計なエネルギーを吸収して散乱してしまう...
高純度石英を用いたクラス100クリーンルーム向けのゼロ汚染加熱技術
粉塵を防ぐ：クラス100の環境で完全な無汚染状態を実現する方法 クラス100の環境を維持している人なら、その苦労はよくわかるでしょう。わずかな金属片や微粒子があるだけで、作業してきたもの全てが無駄になってしまいます。こうした問題の原因となるのは、一般的な抵抗式ヒーターです。高温になると、金属酸化物...
セラミックエンドキャップ試験によるIRエミッタの電気的絶縁確保
なぜセラミック製のエンドキャップが、IRエミッターにとって重要な役割を果たすのか 赤外線エミッターは、極めて高温の環境で動作します。正常に動作させるためには、発熱素子と外側のケースの間にしっかりとした遮断層が必要です。それがセラミック製のエンドキャップの役割です。 まるでボディーガードのようなもの...
揮発性化学薬品が使用される洗浄環境向けの 耐水性を持つ赤外線加熱装置の開発
化学洗浄エリアでのIRランプの安全な扱い方 正直に言って、赤外線ランプを化学洗浄エリアに置くのは、まるでトースターをシャワールームに持ち込むようなものです。液体が漏れ込んだり、可燃性の蒸気が火花を待っていたりと、大きな問題があります。これは最悪の事態を招く原因となります。 そのため、私たちは防水機...
インダストリー4 0のウェーハ処理における赤外線サーモアレイの最適化
スマートファブで適切な加熱を実現するには インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する場合、従来の加熱方法ではもはや不十分だということがお分かりでしょう。データが必要なのです。そのため、私たちの多くは赤外線システムを利用しています。これらのシステムはクリーンで、ウェーハに直接触れることもなく...
高純度石英赤外線ヒーターによるクラス100クリーンルーム基準の達成
クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために クラス100（ISO 5）の環境で作業を行う場合、「ほぼ清潔」という状態では不十分です。わずかな塗料の破片や化学物質が空気中に漏れ出すだけで、大量のウェーハがダメになってしまいます。 問題は、ほとんどの赤外線ランプには、加熱されると剥がれ...