ウェーハ処理における熱の無駄遣いをやめましょう。 真空環境の問題点は、対流が全く行われないことです。つまり、熱を移動させるためには放射を利用するしかありません。もしそのエネルギーがウェーハに当たらなければ、それは単に無駄になってしまいます。その分のエネルギーを取り除くために、冷却装置が余計な労力を費やすことになります。 だからこそ、金でコーティングした反射板を使用するのです。これは理にかなった方法です。
なぜ金なのか？ 一般的なアルミニウム製の反射板でも一時的には機能しますが、高温や繰り返される真空状態の中では壊れやすくなります。一方、金は異なります。赤外線領域の光をより効果的に反射し、その光子の大部分をウェーハ方向に戻します。 重要なのは「より多くの熱」ではなく、「制御」です。単に出力を上げてみるのではなく、エネルギーを正確に必要な場所に集中させるのです。その結果、ウェーハ全体の温度が均一に保たれます。
難しい点 しかし、こうした反射板を狭いスペースに設置するのは簡単なことではありません。金の層は非常に薄く、また敏感です。もし設置時に何者かがそのコーティングを傷つけてしまったら、ウェーハ上に低温部分ができてしまいます。これは小さなミスですが、大きな問題を引き起こす可能性があります。 また、出力密度のバランスも問題です。金が多くのエネルギーを反射するため、ランプ自体がより高温になります。ただ単に設置して終わりではなく、冷却装置や真空ポンプがその負荷に耐えられるようにしなければなりません。冷却が不十分だと、フィラメントが予想以上に早く壊れてしまいます。
メリット この労力に見合うメリットがあります。目標とする温度により早く到達できるため、処理時間が短縮されます。さらに、エネルギーが集中的に使われるため、全体的な消費電力を下げてもウェーハの温度を適切に保つことができます。これにより、より多くのウェーハを処理できるのです。