http://ir-qz-heating.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%BC%E3%83%8F/ Recent content in ウェーハ on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 11:27:49 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/achieving-zero-contamination-heating-in-class-100-cleanrooms-with-high-purity-quartz-ir-lamps/ Fri, 24 Jul 2026 11:27:49 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/achieving-zero-contamination-heating-in-class-100-cleanrooms-with-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="省エネ型ウェーハヒーター"></p> <h1 id="クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法">クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法</h1> <p>クラス100の環境でウェーハを加熱する際には、ミスの余地は<a href="https://goldisgood.com">一切</a>ありません。ほんのわずかな汚れやガスの発生だけで、作業しているウェーハ全体がダメになってしまいます。一般的な加熱素子では、安定した状態を維持するのが難しく、微細な粒子が発生してしまいます。</p> <p>そのため、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しています。これにより、そのような心配がなくなります。</p> http://ir-qz-heating.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 22 Jul 2026 04:30:06 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター"></p> <p>MEMSウェーハの乾燥における炭素排出量の削減<br> 私たちは、MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させる際に、古くて非効率的な対流式オーブンの代わりに赤外線加熱ランプを使用しています。目的は単純です――ウェーハ上の水分をより迅速に<a href="https://o-yate.net">除去</a>し、無駄な電力消費を防ぐのです。<br> もしファブで働いたことがあるなら、ご存知の通り、わずかなシリコン片を乾燥させるためだけに大量の空気を加熱するのには多大なエネルギーが必要です。これは明らかな無駄遣いです。「グリーンファクトリー」を実現するということは、このような無駄をなくすことを意味します。</p> http://ir-qz-heating.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Tue, 21 Jul 2026 09:24:26 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウェーハ加熱時の安全距離"></p> <p>適切な距離の設定：赤外線ウェーハ加熱<br> 半導体製造においては、正確な温度管理を実現するために短波長の赤外線ランプが使用されます。これは、エネルギーを無駄に消費する対流式オーブンよりもずっと優れています。しかし、より環境に優しい工場を実現し、二酸化炭素排出量を削減したい場合は、ランプとウェーハの間の「安全距離」を正確に設定する必要があります。</p> http://ir-qz-heating.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Sun, 19 Jul 2026 15:27:35 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <h1 id="無駄なエネルギーの消費をやめようなぜ金コーティングされた反射板が優れているのか">無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜ金コーティングされた反射板が優れているのか</h1> <p>シリコンウェーハを加熱する際には、1ワットというエネルギーも無駄にしてはいけません。しかし問題は、一般的なIRランプではエネルギーがあちこちに散らばってしまうことです。その結果、基板に届くエネルギーよりも、むしろ装置の筐体が温められてしまいます。これは電力や時間の無駄遣いです。<br> 私たちは、反射板に高純度の金コーティングを施すことでこの問題を解決しました。これにより、エネルギーは本来あるべき場所、つまり直接ウェーハに向かって送られます。</p> http://ir-qz-heating.com/ja/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ Thu, 16 Jul 2026 02:36:15 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ硬化ランプ用反射板"></p> <p>ウェーハの硬化処理を最大限に活用するために<br> 正直に言って、スマートなファブでエネルギーが無駄になるというのは、単純にお金の無駄に過ぎません。ウェーハを硬化処理する際には、機械の筐体が巨大なヒーターのように機能してしまってはいけません。熱エネルギーは必ず基板に届く<a href="https://henruite.com">必要</a>があります。<br> だからこそ、反射器はランプ全体の中で最も重要な部品なのです。<br> <strong>熱エネルギーの無駄遣いをやめましょう</strong><br> 精密な反射器を使わずに硬化ランプを使用すると、出力の50％以上が無駄になってしまいます。これは明らかな無駄です。<br> 私たちは、その赤外線放射をウェーハ表面に直接当てるための反射器を製造しています。焦点を正確に合わせることで、熱が均一に広がります。不均一な加熱やシリコンの変形などの心配もありません。ただ単純に効果的に機能します。<br> <strong>ギアと技術</strong><br> 使用する波長に応じて、高純度のアルミニウムや金メッキされた基材を使用します。長波長のIRには金が適していますが、短波長の場合は通常、研磨済みのアルミニウムが適しています。<br> また、インダストリー4.0の環境で使用する場合は、モジュール式のハウジングに組み込むことができます。これにより、生産ラインを拡張する際に簡単に交換が可能です。<br> さらに、これらのシステムをPLCに直接接続することもできます。電源からの消費電力だけで判断するのではなく、デジタルセンサーを使って、実際にウェーハにどれだけの熱が加わっているかをリアルタイムで把握できます。<br> <strong>注意点とその対処法</strong><br> 問題は、高反射率の表面は繊細であるということです。ファブ内に少しでもほこりや化学物質があれば、効率が<a href="https://o-yate.com">急激</a>に低下してしまいます。<br> そのため、<a href="https://goldisgood.com">定期的</a>に清掃を行うか、鏡面を保護するために密閉型のケースを使用する必要があります。表面が汚れると、処理時間が長くなってしまいます。なぜかというと、失われたエネルギーを補うために、ランプをより高温で動作させなければならないからです。<br> これにより、電源装置に過度な負荷がかかり、ランプの寿命が短くなってしまいます。常に清潔にしておけば、ランプは正常に動作し続けます。</p> http://ir-qz-heating.com/ja/posts/solar-cell-wafer-drying-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 03:54:59 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/solar-cell-wafer-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="太陽電池ウェーハ乾燥ランプ"></p> <p>ウェーハが乾燥ステーションから出てくる様子を見てみましょう。もし乾燥ランプの性能が低下していると、水分が残ったままになり、その結果フォトレジストが剥がれ始めます。そうなると、バッチごとの歩留まりが悪化します。私たちが<a href="https://goldisgood.com">設計</a>した太陽電池用ウェーハ乾燥ランプは、このような問題を防ぐために作られています。</p> http://ir-qz-heating.com/ja/posts/lead-free-solder-wafer-preheater/ Tue, 02 Jun 2026 05:57:47 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/lead-free-solder-wafer-preheater/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="鉛フリーはんだウェーハプリヒーター"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>バックエンドラインにおいて、無鉛はんだリフローは再現可能な熱プロファイルに左右される。ウェーハレベルの<a href="https://goldisgood.com">精度</a>は必須であり、数度のズレがバンプ高さの変動、位置ずれ、歩留まりの規格外を引き起こす。これを踏まえ、当社は無鉛はんだ用ウェーハプリヒーターを設計した。</p> <h1 id="what-matters-under-the-hood">What matters under the hood</h1> <p>±0.1°Cのウェーハレベル熱均一性を実現し、NIR加熱によりエネルギーを基板へ<a href="https://o-yate.net">直接</a>かつ高速に供給する。クリーンルームClass 1–100対応は、密封された石英部品と微粒子発生の少ないエアフロー経路によるもので、長時間運転でも粒子数は安定する。フォトレジストの品質も維持され、ソフトベーク・ハードベークのプロファイルも安定。温度の再現性はエッチングおよびリソグラフィ工程のオーバーレイとCD制御を保護できるレベルである。現場では24時間365日稼働し、予期せぬダウンタイムはゼロ。クローズドループ制御により熱負荷に応じたエネルギー供給を維持する。</p>