http://ir-qz-heating.com/ja/tags/%E4%BA%88%E7%86%B1%E5%99%A8/ Recent content in 予熱器 on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 05:57:47 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/lead-free-solder-wafer-preheater/ Tue, 02 Jun 2026 05:57:47 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/lead-free-solder-wafer-preheater/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="鉛フリーはんだウェーハプリヒーター"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>バックエンドラインにおいて、無鉛はんだリフローは再現可能な熱プロファイルに左右される。ウェーハレベルの<a href="https://goldisgood.com">精度</a>は必須であり、数度のズレがバンプ高さの変動、位置ずれ、歩留まりの規格外を引き起こす。これを踏まえ、当社は無鉛はんだ用ウェーハプリヒーターを設計した。</p> <h1 id="what-matters-under-the-hood">What matters under the hood</h1> <p>±0.1°Cのウェーハレベル熱均一性を実現し、NIR加熱によりエネルギーを基板へ<a href="https://o-yate.net">直接</a>かつ高速に供給する。クリーンルームClass 1–100対応は、密封された石英部品と微粒子発生の少ないエアフロー経路によるもので、長時間運転でも粒子数は安定する。フォトレジストの品質も維持され、ソフトベーク・ハードベークのプロファイルも安定。温度の再現性はエッチングおよびリソグラフィ工程のオーバーレイとCD制御を保護できるレベルである。現場では24時間365日稼働し、予期せぬダウンタイムはゼロ。クローズドループ制御により熱負荷に応じたエネルギー供給を維持する。</p>