http://ir-qz-heating.com/ja/tags/%E6%9F%94%E3%82%89%E3%81%8B%E3%81%84/ Recent content in 柔らかい on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="フォトレジストのソフトベイク温度 IR"></p> <p>リソグラフィーの工程において、フォトレジストのソフトベイク時に生じる0.5度程度のずれは、些細な問題ではありません。それは線幅の変動や溶剤の残留、歩留まりの低下として現れ、どんな監査でもその原因を特定することはできません。私たちは、このような不確実性を排除するために、IRソフトベイクモジュールを開発しました。なぜなら、ウェーハの乾燥やフォトレジストの処理には、推測ではなく再現性の高い加熱が必要だからです。</p>