http://ir-qz-heating.com/ja/tags/%E7%A0%94%E5%89%8A/ Recent content in 研削 on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 06:02:11 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ Sun, 21 Jun 2026 06:02:11 +0800 http://ir-qz-heating.com/ja/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ウェーハバックグラインド用サポートヒーター"></p> <p>300mmウェハの加工においては、ウェハを薄くするために力を使うのではなく、熱バランスをうまく管理することが重要です。もし支持ヒーターの温度が安定しなくなると、チャックが過度に加熱され、接着剤が軟化し、ウェハが反り始めます。その場では深刻な故障は発生しませんが、後になってウェハの端にひび割れが生じたり、歩留まりが低下したりします。</p>