持続可能なファブ製造ソリューション

Sat, 25 Jul 2026 04:36:14 +0800

もう、オーブンを待っている時間を無駄にしないでください。なぜ赤外線加熱が有効かというと、ほとんどの半導体製造工場では依然として熱風を使ってウェハの硬化や乾燥を行っています。私はこれをよく目にします。問題は簡単です。空気は熱を伝えるのが非常に悪いからです。結果として、チャンバーが十分に温まるのを待つ時間が、実際にウェハの処理を行う時間よりも長くなってしまいます。本当に非効率的です。

「待つだけの作業」

熱風がどのように作用するか考えてみてください。熱は発熱体から空気中に移り、最終的に基板に届きます。これは非常に遅いプロセスです。この遅れが効率を低下させてしまいます。一方、赤外線加熱はその中間過程を省略します。電磁波を利用してエネルギーを直接対象物に送り込むのです。これはほぼ瞬時に行われます。対流式の加熱法に代えて短波赤外線を使用するだけで、処理時間が60％から80％も短縮されることがあります。もし製造工場を運営しているのであれば、これは単なる理論ではありません。毎時間より多くのウェハを出荷するための手段なのです。

解決策 on Infrared Quartz Heating Systems

持続可能なファブ製造ソリューション

「待つだけの作業」