웨이퍼 가공 과정에서 열이 낭비되는 것을 막으세요. 진공 환경의 문제점은 대류가 완전히 사라진다는 것입니다. 그렇기 때문에 열을 전달하기 위해 복사 에너지에 의존해야 합니다. 하지만 그 에너지가 웨이퍼에 도달하지 못한다면 그냥 낭비된 에너지가 되어버립니다. 이렇게 낭비된 에너지는 냉각 장치가 처리해야 하는 부담이 됩니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 이는 당연한 선택입니다.
왜 금인가요?
일반적인 알루미늄 반사체도 어느 정도는 효과적이지만, 고온과 지속적인 진공 상태에서는 쉽게 손상됩니다. 하지만 금은 다릅니다. 금은 적외선 스펙트럼을 훨씬 더 잘 반사시켜, 그 광자들을 웨이퍼 쪽으로 다시 보내줍니다. 중요한 것은 ‘더 많은 열’이 아니라제어입니다. 단순히 출력을 높여서 최선을 기대하는 대신, 에너지를 정확히 필요한 곳에 집중시킬 수 있습니다. 그 결과, 웨이퍼 전체의 온도가 균일해집니다.
어려운 점
이러한 반사체를 좁은 공간에 설치하는 것은 결코 쉬운 일이 아닙니다. 금 코팅층은 매우 얇으며, 민감하기도 합니다. 만약 설치 과정에서 실수로 코팅이 손상된다면, 웨이퍼에 냉각 지점이 생기게 됩니다. 이는 작은 실수지만 큰 문제를 일으킬 수 있습니다. 또한, 금이 많은 에너지를 반사하기 때문에, 램프 자체도 더 뜨거워집니다. 그러므로 단순히 이러한 반사체를 설치하고 그대로 두는 것은 안 됩니다. 냉각 장치와 진공 펌프가 그 추가된 부담을 감당할 수 있도록 해야 합니다. 만약 냉각이 부족하다면, 필라멘트가 예상보다 빨리 손상될 수 있습니다.
장점
이러한 노력은 분명히 가치가 있습니다. 목표 온도에 더 빨리 도달할 수 있으므로, 처리 시간도 줄어듭니다. 게다가 에너지가 정확히 집중되기 때문에, 전체 전력 소비를 줄이면서도 웨이퍼의 온도를 유지할 수 있습니다. 이는 더 많은 웨이퍼를 처리할 수 있는 간단한 방법입니다.