도구가 과열되는 것을 막으세요. 일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 제조 환경에서 이는 큰 문제가 됩니다. 기계의 내부 벽면들은 마치 스펀지처럼 작용하여 그러한 여분의 에너지를 흡수해버립니다. 결국 기계의 본체가 과열되어 전자 부품들이 손상될 수 있으며, 작업자에게도 위험이 됩니다. 이 문제를 해결하기 위해, 우리는 적외선 램프를 특수하게 제작된 스테인리스 스틸 하우징으로 감싸줍니다. 열을 정확한 위치에 집중시키기 핵심은 열을 웨이퍼나 기판 위에 집중시키는 것입니다. 우리는 광택 처리된 스테인리스 스틸 반사판을 사용하여 그 열을 원하는 위치로 보냅니다. 하우징의 포물선 형태를 조정함으로써 에너지를 집중시킬 수 있습니다. 이렇게 하면 “낭비되는 열”이 주변으로 퍼지는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과, 열이 집중되고 기계의 본체는 만졌을 때 시원한 상태를 유지합니다. 재료가 중요한 이유 우리는 고급 스테인리스 스틸을 사용합니다. 왜냐하면 이 재료는 지속적인 가열과 냉각에도 변형되지 않기 때문입니다. 또한 내부를 거울처럼 광택 처리하여 반사율을 높입니다. 저급 합금을 사용하면 표면이 산화되어 반사율이 떨어집니다. 그러면 공정 온도를 맞추기 위해 램프를 더 세게 가동해야 하며, 결국 처음부터 다시 시작해야 합니다. 주의해야 할 사항 에너지를 집중시키면 열 분포가 달라집니다. 열이 더 집중되므로, 램프의 위치가 적절하지 않으면 작업물에 “고온 점”이 생길 수 있습니다. 또한 PID 컨트롤러도 조정해야 합니다. 왜냐하면 온도 상승 속도가 훨씬 빨라지기 때문입니다. 가장 좋은 점은, 이러한 하우징들이 그대로 교체 가능하다는 것입니다. 램프를 연결하고 하우징을 브래킷에 넣기만 하면, 벽면의 온도가 즉시 낮아집니다. 이 방법으로 장비를 안전하게 보호하고 작업자들도 편안하게 작업할 수 있습니다.