MEMS 웨이퍼 건조 과정에서의 탄소 배출 감소 우리는 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때, 기존의 구식 대류식 오븐 대신 적외선 가열램프를 사용하고 있습니다. 그 목적은 매우 간단합니다. 바로 웨이퍼 위의 수분을 더 빠르게 제거하고, 에너지 낭비를 줄이는 것입니다....

서론 우리가 이러한 적외선 가열등을 만든 것은 오직 한 가지 목적을 위해서입니다. 바로 제조 공장에서의 사용입니다. 에너지 절감을 위해 열을 효과적으로 조절할 수 있어야 하며, 그냥 주변에 퍼져나가는 열은 필요 없습니다. 전통적인 대류식 가열 방식은 공기를 따뜻하게...

젖은 상태의 웨이퍼가 건조 장치에서 나오는 모습을 보세요. 만약 건조 램프의 성능이 부족하다면, 웨이퍼에 수분이 남아 있게 되고, 그로 인해 포토레지스트가 벗겨지기 시작합니다. 이로 인해 생산량이 줄어듭니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 태양전지용 웨이퍼 건조...