포토레지스트 소프트 베이크 온도 IR

리소그래피 공정에서는, 포토레지스트의 소프트 베이킹 과정에서 생기는 0.5도 정도의 오차도 결코 무시할 수 없습니다. 이러한 오차는 선의 굵기 변화, 용매의 잔류, 그리고 수율 저하로 나타나며, 어떤 감사 절차로도 그 원인을 설명할 수 없습니다. 우리는 이러한 불확실...