램 리서치 히터 교체

제조 공장에서 히터의 온도 변동은 단순한 유지보수 문제가 아닙니다. 이는 소프트 베이크, 하드 베이크, 웨이퍼 건조 공정 전반에 영향을 미치는 심각한 문제입니다. 포토레지스트의 온도 프로파일을 안정적으로 유지하고 건조 과정에서 결함이 발생하지 않도록 하려면 매우 엄격...