웨이퍼 가공 장비용 온도 센서
와이퍼 도구가 고장 나는 것을 막으세요
솔직히 말해서, 이 업계에서는 아주 작은 전기 방전만으로도 실리콘 제품 전체가 폐기되는 경우가 있습니다. 그건 누구도 원하지 않는 악몽입니다. 위험이 너무 크기 때문에, 우리는 ‘랜덤 샘플링’을 하지 않습니다. 10개 중 1개만...
포토레지스트 소프트 베이크 온도 IR
리소그래피 공정에서는, 포토레지스트의 소프트 베이킹 과정에서 생기는 0.5도 정도의 오차도 결코 무시할 수 없습니다. 이러한 오차는 선의 굵기 변화, 용매의 잔류, 그리고 수율 저하로 나타나며, 어떤 감사 절차로도 그 원인을 설명할 수 없습니다. 우리는 이러한 불확실...