TEL (Tokyo Electron) 히터 램프

리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 가열할 때 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. TEL 히터 램프는 온도가 단순히 화면에 표시되는 수치에 불과한 것이 아니라, 패턴의 열적 상태를 결정하는 중요한 요소라는 점을 고려하여 설계됩니...