폭발성 환경에서 적외선 히터를 사용할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 가연성 화학물질이 가득한 진공 챔버 안에 적외선 히터를 넣는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 스파크나 깨진 석영관 하나만으로도 큰 사고가 발생할 수 있습니다. 이는 매우 위험한 환경입니다...

왜 진공 상태에서의 적외선 가열이 생산 공정에 적합한지 진공 상태에서 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 것은 매우 어려운 일입니다. 아주 작은 오염도라도 있으면 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 그래서 우리는 구식의 저항식 난방 장치를 버리고, 진공 환경에 적합한 적외선 가열...