웨이퍼 경화 램프용 반사기
와이어 쿠어링 램프의 성능을 최대한 끌어내는 방법
솔직히 말해서, 스마트 팹에서 에너지가 낭비된다는 것은 결국 돈을 낭비하는 것과 같습니다. 와이어를 쿠어링할 때는 기계의 본체가 마치 거대한 히터처럼 작동하는 것을 원하지 않습니다. 열에너지가 반도체 위에 골고루 전달...
반도체 접착제용 적외선 경화
팹에서의 “접착제 경화” 과정은 단순한 열처리가 아닙니다. 이는 수율에 직접적인 영향을 미치는 중요한 요소입니다. 포토레지스트의 소프트 베이크나 하드 베이크에도 같은 원칙이 적용됩니다. 즉, 온도는 반드시 일정해야 합니다. 다이-어태치 접착제도 마찬가지로 일관된 온도...