스테인리스 스틸 히터 하우징 제작

반도체 제조 현장에서 포토레지스트 베이킹은 선택 사항이 아니라 필수 조건이다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 2°C의 온도 변동은 치수 제어에 영향을 미치고 수율 저하를 초래한다. 히터 하우징은 입자 발생 위험을 추가하거나 열 관성을 증가시키지 않으면서 현장에서 열...