더 이상 오븐을 기다리지 마세요: 광선 가열이 효과적인 이유 대부분의 반도체 공장들은 여전히 열풍을 이용해 웨이퍼를 가열하거나 건조시키고 있습니다. 이런 상황은 항상 일어납니다. 문제는 간단합니다. 공기는 열을 전달하는 데 매우 부적합하기 때문입니다. 결국, 웨이퍼를...

웨이퍼 제조 공정에서 에너지를 낭비하지 마세요. 솔직히 말해서, 웨이퍼 제조 공정에서 에너지가 낭비되는 것은 본질적으로 설계상의 결함입니다. 고출력 램프를 사용하여 웨이퍼를 가열할 때, 그 열 에너지 중 상당 부분이 그냥 흩어져 버립니다. 이 열 에너지는 필요한 곳이...

스트로브 램프의 고장이 생산성을 저해하지 않도록 하세요 반도체 공장에서 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그것은 진정한 재앙입니다. 쿼츠관이 큰 부하를 견디지 못해 고장 나면, 그냥 전구가 망가진 것이 아니라 유리 조각과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로...

고순도 석영을 사용한 적외선 램프가 어떻게 클린룸을 진정으로 깨끗하게 유지하는가 우리는 타협의 여지가 전혀 없는 곳, 즉 클래스 100 클린룸을 위해 이러한 탄소섬유 적외선 램프를 만들었습니다. 만약 공정이 어떠한 가스 배출이나 입자의 방출도 허용하지 않으며, 표면에...

서론 우리가 이러한 적외선 가열등을 만든 것은 오직 한 가지 목적을 위해서입니다. 바로 제조 공장에서의 사용입니다. 에너지 절감을 위해 열을 효과적으로 조절할 수 있어야 하며, 그냥 주변에 퍼져나가는 열은 필요 없습니다. 전통적인 대류식 가열 방식은 공기를 따뜻하게...

고가의 반도체 부품 비용을 줄이는 방법 이해합니다. 수입된 반도체 부품의 높은 비용 때문에 예산이 압박을 받고 있겠죠. 실제로 중요한 질문은 이것입니다: 국내에서 생산된 적외선 가열등이 전체 공정에 아무런 문제를 일으키지 않고 그 자리를 대신할 수 있을까요? 답은 ‘...

생산 라인에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 중요한 공정 단계입니다. 온도를 1°C만 변경해도 CD의 위치가 변하거나, 측벽 각도에 변화가 생기며, 결함의 밀도도 증가합니다. 오븐 내부의 석영 히터는 일관된 열을 공급해야 하며,...