http://ir-qz-heating.com/ko/tags/%ED%8F%AC%ED%86%A0%EB%A0%88%EC%A7%80%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포토레지스트 on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ko Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="포토레지스트 소프트 베이크 온도 IR"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 포토레지스트의 소프트 베이킹 과정에서 생기는 0.5도 정도의 오차도 결코 무시할 수 없습니다. 이러한 오차는 선의 굵기 변화, 용매의 잔류, 그리고 수율 저하로 나타나며, 어떤 감사 절차로도 그 원인을 설명할 수 없습니다. 우리는 이러한 불확실성을 제거하기 위해 IR 소프트 베이킹 모듈을 개발했습니다. 왜냐하면 웨이퍼 건조 및 포토레지스트 처리에는 추측이 아닌 반복 가능한 열 처리가 필요하기 때문입니다.</p>