Mengurangkan Pelepasan Karbon di Kilang Semikonduktor: Mengapa Sistem Pemanasan Inframerah Berkesan
Sejujurnya, kilang semikonduktor merupakan pengguna tenaga yang sangat tinggi. Kebanyakan peralatan yang digunakan di bilik bersih jenis lama bergantung pada sistem pemanasan secara konvensional, yang sebenarnya hanya menyebabkan haba terbuang ke udara. Ini merupakan pembaziran tenaga. Itulah sebabnya semakin ramai orang beralih kepada sistem lampu inframerah gelombang pendek (SWIR).
Dari segi fiziknya, sistem pemanasan konvensional beroperasi dengan perlahan. Ia perlu memanaskan udara terlebih dahulu sebelum dapat memanaskan wafer tersebut. Sistem inframerah pula tidak memerlukan proses ini; ia menghantar tenaga langsung ke permukaan wafer. Dengan cara ini, sistem HVAC tidak perlu bekerja keras untuk menyeimbangkan suhu di dalam bilik tersebut. Ini bermakna penggunaan tenaga untuk setiap wafer akan berkurangan.
Namun, kita tidak boleh sekadar memasang sistem ini dan meninggalkannya begitu sahaja. Semasa merancang peningkatan ini, perkara yang paling penting adalah kepadatan tenaga yang digunakan. Lampu kuarsa berkuasa tinggi dapat membawa wafer ke suhu yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja. Tiada lagi masa pembaziran tenaga ketika menunggu bilik tersebut mencapai suhu yang stabil. Prosesnya sangat cepat.
Tapi ada satu masalah: sistem penyejukan perlu mampu mengimbangi beban yang ditimbulkan oleh sistem inframerah ini. Jika kipas atau sistem penyejukan air tidak cukup efektif, komponen-komponen dalam sistem ini boleh rosak, atau keseluruhan sistem boleh berhenti berfungsi kerana terlalu panas.
Jika anda pernah bekerja di kilang, anda pasti tahu bahawa konsep “penggantian mudah” hanyalah mitos semata-mata. Anda perlu mengubah suai panel kawalan agar dapat menguruskan voltan lampu tersebut. Saya selalu mencadangkan penggunaan pengawal PID yang dilengkapi dengan termokopel yang responsif. Jika sistem maklum balasnya lambat, intensiti inframerah boleh melebihi had yang ditetapkan, dan wafer akan rosak. Ini bukanlah situasi yang baik.
Pada akhirnya, beralih kepada sistem inframerah merupakan salah satu cara yang paling mudah untuk mengurangkan pelepasan karbon. Anda dapat memendekkan masa proses pengeluaran dan mengurangkan pembaziran tenaga. Dengan cara ini, kilang anda akan menjadi lebih mesra alam, tanpa perlu memperlahankan kelajuan pengeluaran.