IR on Infrared Quartz Heating Systems

Penderia IR berketepatan tinggi untuk wafer

Sun, 19 Jul 2026 15:27:38 +0800

Hentikan pembaziran tenaga: Mengapa reflektor berlapis emas lebih efektif

Ketika anda memanaskan wafer silikon, setiap watt tenaga sangat penting. Namun, masalahnya ialah lampu IR biasa menghasilkan haba yang tersebar ke mana-mana. Daripada sampai ke permukaan wafer, sebahagian besar tenaga tersebut digunakan untuk memanaskan badan mesin itu sendiri. Ini merupakan pembaziran tenaga dan masa.

Kami menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan lapisan emas yang berkualiti tinggi pada reflektor tersebut. Dengan cara ini, semua tenaga tersebut akan dialirkan ke arah yang betul – tepat ke permukaan wafer.

Reflektor aluminium untuk lampu IR

Sun, 19 Jul 2026 15:21:52 +0800

Hentikan lampu IR daripada merosakkan wafer anda.
Dalam sistem semikonduktor yang beroperasi pada beban tinggi, kerosakan pada lampu IR bukan sekadar masalah kecil yang menyebabkan gangguan operasi, tetapi ia merupakan bencana sebenar. Apabila tiub kuarsa pecah, serpihan kaca dan filamen tungsten akan jatuh terus ke atas wafer tersebut. Ini akan menyebabkan kerosakan yang teruk, dan kos pembaikannya pun sangat tinggi. Itulah sebabnya kami mencipta sistem pemanasan yang dapat mengelakkan risiko ini sebelum ia berlaku.

Kuncinya terletak pada reflektor.
Kami menggunakan aluminium berkualiti tinggi untuk membuat reflektor tersebut. Ia berfungsi dalam dua cara sekaligus: Pertama, ia memantulkan sinaran IR kembali ke arah wafer, sehingga membantu mengurangkan kos tenaga yang diperlukan. Kedua, ia berfungsi sebagai pelindung. Dengan meletakkan lampu di dalam rongga aluminium yang dihasilkan dengan tepat, kita dapat menghalang serpihan-serpihan tersebut daripada jatuh ke atas wafer. Dengan cara ini, suhu pemanasan dapat dikawal dengan lebih baik, dan ia juga menjadi perlindungan tambahan untuk wafer tersebut.

Hujung porselin untuk pemancar IR

Fri, 17 Jul 2026 05:55:07 +0800

Hentikan Pembaziran Tenaga: Mengapa Penggunaan Reflektor Berlapis Emas Lebih Baik

Jika anda sedang memproses wafer semikonduktor, pembaziran tenaga bukan sekadar masalah kewangan – ia merupakan kelemahan dalam reka bentuknya.

Fikirkan bagaimana pengeluarkan cahaya inframerah biasa berfungsi. Sebahagian besar haba yang dihasilkan akan tersebar ke semua arah, kecuali ke tempat yang sebenarnya diperlukan. Ia sama seperti cuba menerangi sebuah bilik menggunakan lampu suluh yang membiarkan separuh cahayanya keluar dari belakang.

Itulah sebabnya kami menggunakan reflektor berlapis emas serta penutup akhir yang diperbuat daripada seramik. Dengan cara ini, tenaga tersebut dapat dialihkan ke arah wafer.

Suhu pembakaran lembut untuk bahan photoresist jenis IR

Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800

Di kawasan litografi, perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pemanasan bahan fotoresist bukanlah perkara yang boleh diabaikan. Perubahan ini akan menyebabkan perubahan ketebalan garisan pada permukaan wafer, peningkatan kepekatan pelarut, dan penurunan kadar pengeluaran yang tidak dapat dijelaskan melalui audit biasa. Kami telah mencipta modul pemanasan IR untuk mengurangkan ketidakpastian ini, kerana proses pengeringan wafer dan pemprosesan bahan fotoresist memerlukan suhu yang konsisten, bukan sekadar tekaan.

Apa yang penting sebenarnya?
Kami memadankan pancaran inframerah berfrekuensi rendah dengan jalur penyerapan pelarut fotoresist yang biasa digunakan. Dengan cara ini, tenaga akan disalurkan terus ke lapisan fotoresist tanpa menyebabkan suhu substrat menjadi terlalu tinggi. Hasilnya ialah pemanasan yang cepat dan konsisten, dengan variasi suhu sekitar ±0.1°C di seluruh permukaan wafer. Sistem ini dikawal secara automatik menggunakan sensor yang telah dikalibrasi, sehingga proses pemanasan dapat dilakukan dengan tepat, tanpa campur tangan manusia. Sistem ini beroperasi dalam persekitaran bersih kelas 1–100, dan direka agar tidak menghasilkan sebarang zarah kontaminan, sekaligus mengurangkan jumlah kecacatan pada wafer.