http://ir-qz-heating.com/ms/tags/kajian/ Recent content in Kajian on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ms Fri, 19 Jun 2026 05:49:00 +0800 http://ir-qz-heating.com/ms/posts/lam-research-heater-replacement/ Fri, 19 Jun 2026 05:49:00 +0800 http://ir-qz-heating.com/ms/posts/lam-research-heater-replacement/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Gantian pemanas Lam Research"></p> <p>Di kilang pembuatan cip, masalah berkaitan pemanasan bukan sekadar isu penyelenggaraan biasa. Ia boleh mengganggu proses pembakaran dan pengeringan wafer. Untuk memastikan kualiti photoresist tetap stabil dan tiada kecacatan semasa proses pengeringan, adalah penting untuk mencapai ketepatan suhu yang tinggi dalam julat yang sangat sempit. Apabila komponen asal semakin usang, julat suhu tersebut akan mengecil, dan ini seterusnya akan menjejaskan kualiti produk yang dihasilkan.</p> <p>Apa yang penting ialah komponen pengganti tersebut perlu disesuaikan agar sesuai dengan antaramuka termal dan mekanikal pada mesin Lam Research. Ketepatan suhu pada tahap wafer perlu berada dalam lingkungan ±0.1°C, dan komponen tersebut juga perlu serasi dengan persekitaran bilik bersih dari kelas 1 hingga 100. Profil gelombang inframerah pendek atau <a href="https://o-yate.com">sederhana</a> perlu disesuaikan agar selaras dengan keperluan termal photoresist. Penggunaan bahan kuarsa dan seramik yang berkualiti tinggi dapat <a href="https://goldisgood.com">mengelakkan</a> pembentukan zarah-zarah bersih. Kuasa dan voltan yang digunakan juga perlu sesuai dengan spesifikasi mesin tersebut, begitu juga dengan jenis sambungan, toleransi pemasangan, dan respons termalnya.</p>