http://ir-qz-heating.com/ms/tags/sokongan/ Recent content in Sokongan on Infrared Quartz Heating Systems Hugo ms Sun, 21 Jun 2026 06:02:12 +0800 http://ir-qz-heating.com/ms/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ Sun, 21 Jun 2026 06:02:12 +0800 http://ir-qz-heating.com/ms/posts/wafer-back-grinding-support-heater/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Pemanas sokongan untuk proses pengisar semula wafer"></p> <p>Pada <a href="https://henruite.com">garis</a> pengeluaran 300mm, proses penyusutan ketebalan wafer bukanlah melalui penggunaan kekuatan yang berlebihan, sebaliknya ia melibatkan pengurusan suhu dengan teliti. Jika pemanas sokongan mula tidak berfungsi dengan baik, permukaan chuck akan menjadi panas, bahan pelekat akan menjadi lembut, dan wafer akan mula membengkok. Kegagalan total tidak akan berlaku pada masa itu; sebaliknya, retakan pada tepi wafer serta penurunan kualiti wafer akan berlaku kemudian.</p> <p><strong>Apa yang benar-benar penting</strong><br> Pemanas sokongan pada alat pengisar wafer kami direka untuk memberikan pemanasan inframerah yang cepat dan stabil, dengan tahap keseragaman yang tinggi. Dalam proses pengeluaran, suhu wafer dijaga agar tetap dalam lingkungan ±0.1°C di seluruh permukaan sokongan. Reka bentuk ini sesuai untuk digunakan dalam bilik bersih dari kelas 1 hingga kelas 100. Semua bahan yang digunakan dipilih agar tidak menghasilkan zarah-zarah yang boleh merosakkan wafer—tiada pelepasan gas, tiada sisa-sisa yang boleh merosakkan permukaan wafer. Pemanas ini beroperasi 24/7 dengan tahap kebolehpercayaan yang tinggi, tanpa sebarang gangguan yang tidak dijangka. Ia juga mampu mengawal suhu dengan tepat semasa proses pembakaran bahan fotoresist, walaupun proses tersebut bukanlah proses litografi.</p>