Stop met het verspillen van warmte tijdens het verwerken van wafers Het probleem met vacuümemvironmenten is dat er geen convectie meer plaatsvindt. Dat betekent dat je afhankelijk bent van straling om warmte over te dragen. Als deze energie de ondergrond niet bereikt, is ze verloren gegaan. Het gaat om verspilde energie, die vervolgens door de koelapparaten moet worden afgevoerd. Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Dat is logisch. Waarom goud? Standaard aluminiumreflectoren werken wel een tijdje, maar ze gaan kapot onder hoge temperaturen en constante vacuümcyclusen. Goud is anders: het kan infraroodlicht veel beter weerkaatsen, zodat veel meer fotonen rechtstreeks terugkeren naar de wafer. Het gaat niet echt om ‘meer’ warmte, maar omcontrole. In plaats van alleen maar de vermogenssterkte op te voeren, kun je de energie precies daar richten waar het nodig is. Het resultaat? Een evenwichtige temperatuur over de hele wafer. Het moeilijke deel Het plaatsen van deze reflectoren in een beperkt ruimte is niet altijd gemakkelijk. De goudlaag is namelijk erg dun – en gevoelig. Als iemand per ongeluk de laag beschadigt tijdens het installeren, ontstaat er een koude plek op de wafer. Dat is een kleine fout die grote problemen kan veroorzaken. Verder moet je rekening houden met de vermogensdichtheid. Omdat goud zoveel energie weerkaatst, wordt de lamp zelf juist heter. Je kunt deze reflectoren niet zomaar instellen en vergeten; je moet ervoor zorgen dat je koelingssystemen en vacuumpompen deze extra belasting aankunnen. Als de koeling te zwak is, branden de filamenten sneller uit dan nodig is. De voordelen De voordelen zijn de moeite waard. Je bereikt de gewenste temperaturen sneller, waardoor de cyclustijden korter worden. Bovendien kun je vaak de totale energieverbruik verminderen, terwijl de wafer nog steeds op de juiste temperatuur blijft. Het is een eenvoudige manier om meer wafers te verwerken, zonder dat je meer verwarmers hoeft te gebruiken.