Op de lithografieafdeling is een temperatuurverschil van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotorezyst voldoende om de benodigde dimensies niet meer te behalen. Hierdoor gaat veel materiaal verloren. De heaters van TEL zijn zo ontworpen dat ze rekening houden met het feit dat temperatuur niet alleen een getal op het scherm is – het gaat ook om de thermische omstandigheden die nodig zijn voor het proces.
Wat er echt toe doet Wij gebruiken infraroodlampen met nauwkeurige spectrale controle, zodat ze goed overeenkomen met de absorptie-eigenschappen van kwarts en zo snel mogelijk de chip kunnen verwarmen. De uniformiteit van de temperatuur op het oppervlak van de chip blijft binnen ±0,1°C. De compatibiliteit met cleanrooms van klasse 1–100 wordt gewaarborgd door het gebruik van materialen met een lage uitstoot van gassen en zonder partikels. Het systeem werkt 24/7, met regelmatige onderhoudsintervallen, zodat er geen onverwachte stilstand optreedt.
Dit zorgt ervoor dat het systeem effectief kan werken in de productie. Zowel het zachte als het harde verhitten is dan minder afhankelijk van de operator en werkt als een stabiel proces. Hierdoor ontstaan er minder defecten en is de kwaliteit van het eindproduct beter. Bovendien blijft de energieverbruik onder controle dankzij een efficiënte verbinding tussen de lamp en de chip. Het resultaat is herhaalbaarheid: dezelfde thermische omstandigheden, lot na lot, ongeacht de shift of het apparaat.
Een paar praktische tips: bij installatie moet de lamp en de aansluitingen worden aangepast aan het specifieke apparaat. We leveren hiervoor gevalideerde kits. Zorg er ook voor dat de lampen correct worden bediend en controleer de thermische instellingen op basis van de eigenschappen van de fotorezyst. Zelfs een klein verschil in emissiviteit of de structuur van het substraat kan invloed hebben op het verhittingsproces.