IR on Infrared Quartz Heating Systems

Prachtige IR sensor voor wafers

Sun, 19 Jul 2026 15:27:39 +0800

Stop met het verspillen van je warmte: waarom gecoate reflectoren gewoon beter werken

Wanneer je siliconenwafels verwarmt, telt elke watt. Maar hier is het probleem: standaard IR-lampen zijn rommelig. Ze sturen energie overal naartoe. In plaats van het substraat te raken, wordt een groot deel van die energie gebruikt om het machinechassis op te warmen. Dat is een verspilling van elektriciteit en tijd.

We hebben dit opgelost door hoogzuiver goud op de reflectoren aan te brengen. Hierdoor wordt alle energie precies daarheen gestuurd waar ze horen te zijn—recht omlaag.

Aluminiumreflector voor IR lamp

Sun, 19 Jul 2026 15:21:52 +0800

Voorkom dat uw IR-lampen uw wafers beschadigen
In een hoogbelaste halfgeleiderfaciliteit is een kapotte IR-lamp geen klein probleem; het is een echte nachtmerrie. Wanneer een kwartsbuis barst, vallen er glasdeeltjes en wolfraamdraaddraden recht op de wafers terecht. Dat zorgt voor chaos en brengt hoge kosten met zich mee. Daarom ontwerpen we onze verwarmingssystemen zo dat dit risico al van tevoren wordt voorkomen.

Het geheim zit in de reflector.
Wij gebruiken aluminium van hoge zuiverheid. Dit materiaal heeft meerdere functies: ten eerste weerkaatst het de IR-straling terug naar de wafel, waardoor de energiekosten omlaag blijven. Maar nog belangrijker: het fungeert als schild. Door de lamp in een precies vervaardigde aluminiumholte te plaatsen, blijft het grootste deel van de schade binnenin de holte. Hierdoor wordt de hitteverdeling beter geregeld en is er ook meer veiligheid.

Ceramische eindkap voor IR emitter

Fri, 17 Jul 2026 05:55:09 +0800

Stop met het verspillen van energie: waarom gecoate IR-emitters beter werken
Als je halfgeleiderwafels verwerkt, is energieverbruik niet alleen een financieel probleem – het is ook een ontwerpfout.

Denk eens na over hoe een gewone IR-emitter werkt. Een groot deel van de uitgestraalde warmte gaat richting achteren, dus nergens anders heen dan waar je het eigenlijk nodig hebt. Het is alsof je probeert een kamer te verlichten met een zaklamp die de helft van het licht naar achteren stuurt.

Temperatuur voor zachte verhitting van photoresist IR

Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800

Op de lithografieafdeling is een afwijking van een halve graden tijdens het ‘soft bake’-proces van de fotoresist geen onbelangrijk detail. Deze afwijkingen leiden tot variaties in de dikte van de lijnen, tot behoud van oplosmiddelen in de fotoresist, en tot een daling van de opbrengst. Dit kan door geen enkele controle worden verklaard. Wij hebben onze IR-soft bake-modules ontworpen om deze onzekerheden weg te nemen. Want bij het drogen van de schijven en het verwerken van de fotoresist is het belangrijk dat er een consistente hitte wordt toegepast, zonder dat er gespeculeerd hoeft te worden.