http://ir-qz-heating.com/nl/tags/zacht/ Recent content in Zacht on Infrared Quartz Heating Systems Hugo nl Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/nl/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Sat, 27 Jun 2026 04:40:20 +0800 http://ir-qz-heating.com/nl/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-qz-heating.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Temperatuur voor zachte verhitting van photoresist IR"></p> <p>Op de lithografieafdeling is een afwijking van een halve graden tijdens het ‘soft bake’-proces van de fotoresist geen onbelangrijk detail. Deze afwijkingen leiden tot variaties in de dikte van de lijnen, tot behoud van oplosmiddelen in de fotoresist, en tot een daling van de opbrengst. Dit kan door geen enkele controle worden verklaard. Wij hebben onze IR-soft bake-modules ontworpen om deze onzekerheden weg te nemen. Want bij het drogen van de schijven en het verwerken van de fotoresist is het belangrijk dat er een consistente hitte wordt toegepast, zonder dat er gespeculeerd hoeft te worden.</p>