Obudowa grzejnika ze stali nierdzewnej fabrykacja

Tue, 02 Jun 2026 08:47:22 +0800

Na hali produkcyjnej wypalanie fotoopornika nie jest opcjonalne — to twarde ograniczenie. Dryf o 2°C podczas wstępnego wypalania (soft bake) lub końcowego wypalania (hard bake) zaburzy kontrolę wymiarów krytycznych i obniży wydajność. Obudowa grzejnika musi przekładać zamierzoną temperaturę na rzeczywistą wydajność w warunkach produkcyjnych, bez zwiększania ryzyka generowania cząstek oraz bez przeciążeń termicznych.

Co faktycznie ma znaczenie „pod maską”

Budujemy obudowę grzejnika ze stali nierdzewnej wokół elementów podczerwieni krótkofalowej, które zapewniają jednorodne rozprowadzenie ciepła z dokładnością poniżej milimetra, a efekt ten powtarza się z partii na partię. Pole termiczne ściśle podąża za nastawą z niewielkim marginesem, dzięki czemu profile wypalania fotoopornika pozostają w specyfikacji.
Obudowa jest przystosowana do cleanroomu, zespawane szwy i gładkie powierzchnie minimalizują generowanie cząstek. W praktyce przekłada się to na mniejszą liczbę odchyleń w procesie litografii i bardziej stabilną jednorodność wymiarów krytycznych na całej powierzchni płytki.

Mieszkania on Infrared Quartz Heating Systems

Obudowa grzejnika ze stali nierdzewnej fabrykacja

Co faktycznie ma znaczenie „pod maską”