Aquecedor de suporte para retificação de wafer

Sun, 21 Jun 2026 06:02:11 +0800

Na linha de 300 mm, o afinamento das bolachas é menos uma questão de força bruta e mais uma questão de controle do balanço térmico. Se o aquecedor de suporte começar a falhar, a parte que segura a bolacha fica quente, o adesivo amolece e a bolacha começa a se curvar. Não há falha catastrófica imediata; as rachaduras nas bordas e perdas na qualidade da bolacha só são percebidas posteriormente.

O que realmente importa O aquecedor de suporte em nosso equipamento de retificação é projetado para fornecer um aquecimento infravermelho rápido e estável, com alta uniformidade. Na produção, mantemos a temperatura da superfície de suporte dentro de ±0,1°C, de modo que a temperatura do aquecedor acompanhe o valor definido com precisão. O design é compatível com ambientes limpos, desde a Classe 1 até a Classe 100. Cada material utilizado é escolhido para minimizar a geração de partículas – sem emissões gasosas, sem resíduos ou vestígios de filme. O equipamento funciona 24/7, com um perfil de confiabilidade que visa eliminar qualquer parada não planejada. Além disso, ele permite um controle preciso da temperatura durante os processos de secagem do fotorevestimento, mesmo quando o processo não envolve litografia.

Para Trás on Infrared Quartz Heating Systems

Aquecedor de suporte para retificação de wafer