Прекратите терять тепло в процессе обработки пластин. Проблема вакуумной среды заключается в отсутствии конвекции – тепло не может распространяться посредством конвекции. Поэтому для передачи тепла приходится использовать излучение. Если энергия не достигает поверхности пластины, она просто теряется. Это напрасно потраченная энергия, которую придется компенсировать с помощью охлаждающих устройств. Поэтому мы используем отражатели, покрытые золотом. Это разумный подход. Почему золото? Стандартные алюминиевые отражатели могут справляться со своей задачей некоторое время, но они ломаются под действием высоких температур и постоянных изменений вакуума. Золото же справляется гораздо лучше с инфракрасным излучением – оно отражает значительную часть фотонов обратно к пластине. Речь не идет о большем количестве тепла, а о его точном направлении. Вместо того чтобы просто увеличивать мощность, можно сосредоточить энергию именно там, где это необходимо. В результате температура на поверхности пластины остается равномерной. Сложности Установка таких отражателей на ограниченном пространстве не всегда бывает простой задачей. Слой золота очень тонкий, и он чувствителен к внешним воздействиям. Если техник случайно повредит покрытие во время установки, на поверхности пластины появится «холодная зона». Это небольшая ошибка, но она может привести к серьезным проблемам. Кроме того, необходимо учитывать баланс мощности. Поскольку золото отражает большое количество энергии обратно, сама лампа перегревается. Нельзя просто установить эти отражатели и забыть о них – необходимо убедиться, что охлаждающие устройства смогут справиться с дополнительной нагрузкой. Если охлаждение слабое, нити лампы сгорят гораздо быстрее, чем следует. Преимущества Преимущества оправдывают усилия. Температура на поверхности пластины достигается быстрее, что сокращает время обработки. Кроме того, благодаря точному направлению энергии можно снизить общую мощность, при этом сохраняя нужную температуру пластины. Это простой способ увеличить количество обрабатываемых пластин без необходимости использования дополнительных нагревателей.