Хватит тратить время впустую: почему для промывки полупроводников лучше использовать инфракрасные лампы
Давайте поговорим о времени. В процессе обработки полупроводников каждая секунда ожидания — это потеря денег.
Долгое время мы использовали горячий воздух для сушки поверхностей. Но здесь есть проблема: горячий воздух действует медленно. Для нагрева всего объема воздуха требуется много времени, в то время как на самом деле нужно лишь нагреть конкретную поверхность чипа. По сути, вы нагреваете всю комнату, хотя на самом деле важна только та часть, которая требует обработки.
Вот здесь и приходят на помощь водонепроницаемые инфракрасные лампы. Вместо нагревания воздуха они направляют излучение прямо на поверхность чипа. Это позволяет мгновенно испарять влагу. Таким образом, время сушки сокращается с минут до секунд. Это огромная разница.
Вы можете подумать: «Но это же этап промывки. Внутри все еще влажно». Вы правы. Обычная лампа, скорее всего, выйдет из строя или разобьется, если на нее попадет капля воды. Поэтому мы используем лампы с специальными уплотнениями и кварцевыми корпусами. Они рассчитаны на постоянную работу в условиях влажности. Капли воды могут летать вокруг, но лампы продолжают функционировать без проблем.
Конечно, это не волшебство. Есть несколько моментов, на которые нужно обратить внимание. Из-за быстрого нагрева легко превысить заданную температуру, если контроллеры PID не настроены правильно. Также необходимо следить за мощностью. Замена вентилятора на набор инфракрасных ламп меняет электрическую нагрузку. Прежде чем включить устройство, убедитесь, что его элементы способны выдерживать пиковую мощность во время запуска.
Но если все настроено правильно, производительность будет поразительной. Благодаря отсутствию необходимости в процедуре предварительного нагрева можно обрабатывать гораздо больше чипов в час. Это простое решение, которое устраняет самый большой барьер во всем процессе.