Нагревательная лампа TEL (Tokyo Electron)

Thu, 18 Jun 2026 04:07:52 +0800

На этапе литографии даже отклонение температуры в 0,5°C во время процесса обработки фотополимера может привести к тому, что критические размеры изделия не соблюдут требуемых значений, что в свою очередь приводит к выбросу большого количества бракованных изделий. Лампы типа TEL разработаны с учетом того, что температура – это не просто показатель на экране; это ключевой параметр для формирования строения структуры на пластине.

Что действительно имеет значение Мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением, обеспечивающие строгий контроль спектра излучения. Это позволяет достичь нужной интенсивности излучения, необходимой для обработки пластины. Равномерность температуры на поверхности пластины составляет ±0,1°C. Совместимость с чистыми помещениями класса 1–100 обеспечивается за счет использования материалов с низким уровнем выделения газов и отсутствием частиц. Система работает круглосуточно, при этом есть четко определенные времена технического обслуживания, что предотвращает неплановые простои.

Электрон) on Infrared Quartz Heating Systems

Нагревательная лампа TEL (Tokyo Electron)