ในกระบวนการพิมพ์ด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟี ความเบี่ยงเบนเพียงครึ่งองศาในขั้นตอนการอบแห้งฟอโตรีซิสต์ก็ไม่ใช่เรื่องเล็กๆ เลย ความเบี่ยงเบนนี้จะส่งผลให้ความกว้างของเส้นไม่สม่ำเสมอ มีสารละลายตกค้าง และทำให้อัตราการผลิตลดลง ซึ่งไม่สามารถอธิบายได้ด้วยการตรวจสอบทั่วไป เราจึงออกแบบโมดูลการอบแห้งด้วยรังสีอินฟราเรดขึ้นมา เพื่อขจัดความไม่แน่นอนเหล่านี้ออกไป เพราะการอบแห้งวงจรและการประมวลผลฟอโตรีซิสต์จำเป็นต้องใช้ความร้อนที่สม่ำเสมอ ไม่ใช่การคาดเดา
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราปรับให้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นสอดคล้องกับช่วงการดูดกลืนของสารละลายฟอโตรีซิสต์ทั่วไป เพื่อให้พลังงานเข้าสู่ฟิล์มได้โดยตรง โดยไม่ทำให้พื้นผิววงจรร้อนเกินไป ผลลัพธ์คือการอบแห้งที่รวดเร็ว โดยไม่ต้องสัมผัสวงจรโดยตรง และมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C ระบบมีการควบคุมแบบปิด โดยใช้เซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำ และสามารถปรับค่าอุณหภูมิได้ตามสูตรที่กำหนดไว้ ไม่ว่าจะเป็นการอบแห้งแบบอ่อน แบบแข็ง หรือการอบแห้งหลังการใช้งาน ระบบนี้สามารถทำงานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และถูกออกแบบมาให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลย ทำให้ไม่มีข้อบกพร่องบนวงจร
นี่คือเหตุผลว่าทำไมวิธีนี้ถึงได้ผลจริงในการปฏิบัติงาน ในการอบแห้งวงจร รังสีอินฟราเรดช่วยให้เกิดการอบแห้งที่รวดเร็วและสม่ำเสมอ ทำให้ความชื้นที่เหลืออยู่ถูกขจัดออกไปได้อย่างรวดเร็ว ในการอบแห้งฟอโตรีซิสต์ ความแม่นยำนี้ช่วยให้ความหนาของฟิล์มมีความสม่ำเสมอ และสามารถควบคุมขนาดต่างๆ ได้อย่างแม่นยำ การอบแห้งกล่องบรรจุภัณฑ์และการทำความสะอาดก็ได้รับประโยชน์เช่นกัน เพราะอุณหภูมิที่ใช้มีความสม่ำเสมอในแต่ละครั้งที่ทำการอบแห้ง ดังนั้น ระบบนี้จึงสามารถทำงานได้ตลอดเวลา โดยมีการบำรุงรักษาน้อยมาก และความสม่ำเสมอนี้ช่วยลดการทำงานซ้ำ การทิ้งวัสดุที่ไม่มีคุณภาพ และค่าใช้จ่ายที่เกิดขึ้นจากการปรับกระบวนการอบแห้งใหม่
มีข้อควรระวังอีกสองประการ ประสิทธิภาพของการอบแห้งด้วยรังสีอินฟราเรดขึ้นอยู่กับการปรับให้สเปกตรัมของเครื่องปล่อยรังสีสอดคล้องกับคุณสมบัติของฟอโตรีซิสต์ และต้องมีมุมมองที่ชัดเจนต่อพื้นผิววงจรด้วย การจัดวางวงจร สภาพพื้นผิวด้านหลังของวงจร และการจัดการกับก๊าซที่เกิดขึ้นก็ยังสามารถส่งผลต่อความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ ดังนั้น เราจึงแนะนำให้มีการทดสอบการอบแห้งเพื่อยืนยันสูตรการอบแห้งอีกครั้ง หลังจากนั้น กระบวนการก็จะอยู่ภายใต้การควบคุม ทำให้มีความแปรปรวนของอุณหภูมิน้อยลง และไม่มีปัญหาในการผลิตในแต่ละวัน