ในกระบวนการผลิตชิปขนาด 300 มม. การทำให้แผ่นวัสดุมีความหนาน้อยลงนั้น ไม่ได้ขึ้นอยู่กับแรงกดดันเพียงอย่างเดียว แต่ขึ้นอยู่กับการควบคุมอุณหภูมิมากกว่า หากเครื่องทำความร้อนที่ใช้รองรับแผ่นวัสดุมีปัญหา อุณหภูมิของชุดจับแผ่นวัสดุก็จะสูงขึ้น ส่งผลให้สารยึดเกาะอ่อนลง และแผ่นวัสดุก็จะเริ่มโค้งงอ คุณจะไม่เห็นความเสียหายรุนแรงเกิดขึ้นในทันที แต่จะเห็นรอยแตกที่ขอบแผ่นวัสดุ และอัตราการผลิตที่ลดลงในภายหลัง
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เครื่องทำความร้อนที่ใช้รองรับแผ่นวัสดุในเครื่องบดนั้น ถูกออกแบบมาให้มีความร้อนแบบอินฟราเรดที่รวดเร็วและมีความสม่ำเสมอสูง ในกระบวนการผลิต เราจะควบคุมอุณหภูมิของแผ่นวัสดุให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ทั่วพื้นผิวที่ใช้รองรับแผ่นวัสดุ เพื่อให้อุณหภูมิของชุดจับแผ่นวัสดุอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ได้อย่างสม่ำเสมอ การออกแบบนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในห้องสะอาดตั้งแต่ระดับ Class 1 ไปจนถึง Class 100 และวัสดุที่ใช้ในการผลิตก็ถูกเลือกมาเพื่อให้ไม่มีการก่อตัวของอนุภาคใดๆ เลย ไม่มีการปล่อยก๊าซ ไม่มีการหลุดลอกของวัสดุ และไม่มีคราบสกปรกใดๆ เครื่องนี้สามารถทำงานได้ 24/7 โดยมีความน่าเชื่อถือสูง และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ แม้ในกระบวนการที่ไม่ใช่การผลิตชิปก็ตาม
เหตุใดเครื่องนี้จึงสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพในการบดแผ่นวัสดุ การบดแผ่นวัสดุทำให้แผ่นวัสดุมีความหนาน้อยลงอย่างมาก และเครื่องทำความร้อนที่ใช้รองรับแผ่นวัสดุก็มีหน้าที่ช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิช่วยลดความเครียดในชั้นสารยึดเกาะ ทำให้แผ่นวัสดุยังคงเรียบร้อยขณะบด และไม่เกิดการเลื่อนตัวของแผ่นวัสดุ การไม่มีการก่อตัวของอนุภาคช่วยปกป้องพื้นผิวด้านหลังของแผ่นวัสดุ ซึ่งช่วยลดการปนเปื้อนหลังจากการบด และช่วยเพิ่มอัตราการผลิตในขั้นตอนการติดตั้งและบรรจุผลิตภัณฑ์ ความแม่นยำนี้ยังช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิในขั้นตอนการอบแผ่นวัสดุได้อย่างแม่นยำ ทำให้ขนาดของแผ่นวัสดุอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด และช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอในการผลิต
สิ่งที่จำเป็นต้องทำให้ถูกต้อง เครื่องทำความร้อนนี้จำเป็นต้องถูกติดตั้งไว้ที่จุดเชื่อมต่อกับชุดจับแผ่นวัสดุอย่างแม่นยำ หากมีการติดตั้งที่ไม่ถูกต้อง ก็จะเกิดจุดร้อนขึ้น และส่งผลให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิลดลง จำเป็นต้องให้แน่ใจว่ากำลังไฟฟ้าและแรงดันไฟฟ้าเหมาะสมกับเครื่องมือ และต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าอุณหภูมิของชั้นสารยึดเกาะอยู่ในช่วงที่เครื่องทำความร้อนสามารถควบคุมได้ เมื่อการติดตั้งถูกต้อง เครื่องทำความร้อนก็จะทำหน้าที่เหมือนกับค่าคงที่ที่มั่นคง ไม่ใช่ตัวแปรที่ต้องควบคุมอยู่เสมอ